蔡司 EVO 系列模块化的 SEM 平台适用于直观操作、例行检测和研究应用
EVO系列将扫描电镜和直观的、友好的用户界面体验结合在一起， 同时能够吸引经验用户以及新用户。无论是在生命科学， 材料科学， 或例行的工业质量保证和失效分析领域，凭借可选配置， EVO 可以根据您的要求定制。
可用性
SmartSEM Touch可以通过使用您的指尖与其进行交互式工作流程控制。它简单易学， 少了培训，甚至新用户在几分钟内也能够捕捉的图像。此用户界面还支持需要自动化工作流程以执行可重复检查任务的工业操作员。
图像质量
EVO 擅长于对未经处理和没有导电涂层的样品获取数据。EVO 还允许样品保留其原始状态， 维持含水和重污染样品的数据质量。此外当成像和微量分析面临挑战时，选用LaB6灯丝则能够给予更好的分辨率、 对比度和信噪比。
其它设备相关联
EVO可以作为半自动、多模式工作流程的一部分，通过重新定位感兴趣区域，并以多种方式收集数据，形成信息的完整性。将光学和电子显微镜图像合并起来进行材料表征或零件检验，或者将 EVO 与蔡司光学显微镜相关联，进行关联颗粒度分析。
适合更多用户操作
在实际的实验室环境中，SEM 的操作通常是显微镜专家的专属领域。但是对于非专家级用户来说，操作SEM就变得具有挑战，EVO 则同时考虑了这两类用户的需求。
智能导航与成像
蔡司导航相机
相机可以安装在仓室前方， 以监测样品与背散射探测器以及物镜底端之间的相对位置(仓室相机)；或安装在真空室仓门上方 (导航相机)， 利用俯视图查看样品台上样品的摆放位置。此视图可用于设置从光学显微镜图像中识别出的预定义位置， 并在整个样品测试过程中轻松导航。
自动化智能成像
EVO实现了对样品批量自动、无人值守的图像采集。蔡司自动化智能成像适合例行检测。它使用户能够自定义边界区域，自动生成所需的视图或放大倍数确定的感兴趣区域，并开始自动获取图像。自动化智能成像将大大提高样品的测试效率，以及更多的数据产出。
使用六硼化镧(LaB6) 电子发射器能够获得更好的图像
六硼化镧阴极相较于传统的钨发夹灯丝所发射的电子能够保证您额外所需要的图像质量。这种优势体现在以下两个方面:
EVO 能够与其它设备相关联
Shuttle & Find 将EVO、光学显微镜和数码显微镜组成一个关联的、多模态工作流程
由于蔡司是各种类型显微镜和计量系统的供应商， 所以您还可以将EVO 与蔡司其它解决方案相结合，使其功能能够发挥得更好。
通过使用Shuttle & Find（蔡司关联显微镜的软硬件部分），您可以在（数码）光学显微镜和 EVO 之间建立一个高效的多模式联用的工作流程。将光学显微镜光学对比方法与扫描电镜成像和分析方法相结合， 获得互补的数据， 从而更清楚地去了解样品的材料、质量或失效机理
能谱整体解决方案
EVO可以配置集成的 EDS 系统， EVO Element通过只使用一台电脑来控制 EDS 和 SEM， 从而提高了可用性。同时通过为显微镜和 EDS 控制提供专用的用户界面， 可以实现并行控制。
EVO 系列
真空室尺寸选择
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样品高度 |
100 mm |
145 mm |
210 mm |
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样品直径 |
230 mm |
250 mm |
300 mm |
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电动载物台行程XYZ |
80 x 100 x 35 mm |
125 x 125 x 50 mm |
130 x 130 x 50 (或 80) mm |
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高真空模式 (HV) |
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可变压力模式 (VP) 不导电且不喷涂导电层样品的高质量成像和分析 |
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扩展压力模式 (EP) |
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