美国PE高效ICP（HPICP，High Performance Inductively Coupled Plasma），测量不确定度≤0.1%。该方法可同滴定法、重量法、同位素稀释法相一致。我国很多标准均用化学法测量，化学法的测量准确度较高；同位素稀释法虽然准，但同位素稀释剂昂贵，同位素稀释法所用的质谱议也昂贵。所以传统上，要做到准确度≤0.1%，需消耗大量的时间和成本。
传统上，ICP-OES一般的短期稳定性是1%，长期稳定性<2%，若要ICP-OES测量的准确性、不确定度小于0.1%，即提高10倍的准确度。
测试流程
首先，建立一个测试流程。可以把待测的元素通过选择谱线初步建立一个方法，然后对元素初步测试，通过自动积分报告，可看到每条谱线用的曝光的时间不一样，如对谱线总测量时间是10秒钟，有的谱线特别强，它每次快门时间是0.01秒，即10秒钟一共测1000次；而有的谱线快门时间是0.1秒，即10秒钟共测100次。
获得每个谱线测量的快门时间后，把相同的配成一对，让它们用0.1秒的都用0.1秒，用0.01秒的都用0.01秒，然后同时进行检测。所获得的标准曲线也和平常的标准曲线不一样，但其符合ISO标准要求。这时获得了神奇的结果：虽然内标测量的结果RSD是0.3%，但真正测量的分析物RSD是0.03%、0.04%、0.07%、0.01%；即待测物的RSD均小于0.1%。
为什么？这时要了解测量误差的主要来源。测量值等于真值加上长期的偏移和短期的噪声，可以通过内标或重复测标样来校正长期的漂移，校正在1%以内。接下来关键的是消除短期的噪声。
有效消除短期噪声
短期的噪声同雾化器的控制方式有关系；一方面来自于雾化器的控制精度，另外一方面来自于蠕动泵。消除短期噪声重要的技术是实时校正。一般的AAS仪器只有一个PMT，采用交替双光束，无法校正瞬间电压波动；PerkinElmer的AAS有9区域CCD，采用实时双光束，可实时校正瞬间电压波动。这样，在仪器每一个读数周期内（如10毫秒），普通AAS的交替检测仅用半个周期测定样品（5毫秒）；而PerkinElmer AAS的同时检测用整个周期测定样品（10毫秒），同时延长了样品光束和参比光束的测量时间，提高了仪器的测定精度和准确度。
那么，ICP-OES本来是单光束的仪器，用内标后成为一个交替双光束的仪器，如何变成实时双光束呢？Avio 500上有两个分段阵列式电荷耦合检测器（SCD），紫外区和可见区各一个。每个检测器上有235个区域，每个区域都是一个独立控制的CCD，把它组装在一起，加在一起一共有470个，所以我们说500：1。每一个区域都是一个独立的CCD，每一个独立区域的CCD的像素从30多个到100多个不等，根据所处的位置不一样。
普通的ICP-OES只有一个CCD，测量就像照相一样，针对不同的光强度用不同的曝光时间去测很多次，即多次曝光拍摄，然后从里面来挑合适的。一个CCD，测完这个再测那个，在不同的时间测量，所以无法补偿由于雾化器、蠕动泵带来的波动。而Avio 500有500个独立的CCD同时测量，可实时地进行校正，从而提高10倍以上的测量精确度。
应用
谁需要这么高的测量精确度？最初是NIST制作标准溶液，总不确定度要求0.1%~0.3%。其次做固体的标准物质，比如说大米粉，或者是材料等，都有精确定值的要求。在实际样品测量中对杂质含量可能仅要求5%的不确定度；但对于主成分，也有非常高的不确定度要求；在贵金属测量时，ISO有特别的要求，比如0.2%~0.4%，对于大部分直接测量，要求<0.3%。目前，越来越多实验室参加一些国际的数据比对，或参加实验室的考核、认证等等，也有非常高的不确定度要求。
