应用报告 | 第二代 S8 TIGER 分析工业硅中的杂质元素含量-依据GB/T 14849.5
原创 应晓浒 布鲁克X射线部门 2022-07-15 17:00 发表于北京
介绍
工业硅含有98%以上的Si,以及Fe、Al、Ca等杂质成分。是生产多晶硅、铝硅合金、硅铁、有机硅等产品的主要原料。
多晶硅是光伏、半导体的基础材料,纯度在6N以上,因此对工业硅的杂质提出了更高的要求。X射线荧光光谱法可直接分析固体样品,省却了其他分析方法的样品消解、去硅等繁琐制样步骤,正在成为工业硅中杂质元素的主要分析方法。为适应行业发展,国家有色金属标准化技术委员会于2010年制定了《GB/T 14849.5-2010 工业硅化学分析方法 第5部分:元素含量的测定 X射线荧光光谱法》,分析工业硅中的Fe、Al、Ca。2014年在旧版的基础上,制定了《GB/T 14849.5-2014 工业硅化学分析方法
第5部分:杂质元素含量的测定 X射线荧光光谱法》,扩大了分析范围。本报告依据GB/T 14849.5-2014,分析了工业硅中Fe、Al、Ca、Mn、Ni、Ti、Cu、P、Mg、Cr、V等杂质元素的含量。
仪器
图1:第二代 S8 TIGER
Bruker公司的第二代S8 TIGER型X射线荧光光谱仪为工业硅杂质成分分析提供解决方案:
样品制备
工业硅样品研磨后,采用压片方法制备样品。
校准曲线
用11个CRM标准样品建立校准曲线,分析了工业硅中11个杂质元素,。
精密度
对工业硅标样YSBC28666-2019进行重复性测试,可以看到精密度优于标准GB/T 14849.5的要求。